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YH大理石隔振光学平台

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YH大理石隔振光学平台

发布时间:2021-07-02  |   发布人:admin   |  浏览次数:


YH大理石隔振光学平台

产品特点:
■台面材料采用优质济南青大理石,表面精度高,耐腐蚀性强
■内置精密空气弹簧隔振系统,具备优异的隔振性能,自动调节水平功能
■该产品适用于平面度要求高的实验
技术指标:
■平面度:00级
■固有频率:1.0Hz~1.5Hz
■减振效率:x方向<5Hz时:86%~92%    y方向<5Hz时:84%~90%
                 x方向<10Hz时:90%~96%     y方向<10Hz时:88%~93%
■振幅:< 1.0μm
■重复定位精度:±0.05mm
接受客户任意规格定制生产

装配地点:中山大学微电子学院


装配地点:上海某光学科技公司

 

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