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YH-QF-K科研气浮隔振光学平台

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YH-QF-K科研气浮隔振光学平台

发布时间:2021-07-02  |   发布人:admin   |  浏览次数:


YH-QF-K科研气浮隔振光学平台

 

应用领域:
适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用
产品特点

■中航世纪公司依托于航空工业人员背景研发制造的具有负载能力强、刚性强、稳定性高、隔振效果好的科研级气浮隔振光学平台。

■优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。

■自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品,标配进口无油压缩机。

■台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为1cr17优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理,平面度高,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果,面板具有M6螺孔阵列,易于固定光学元件。

■隔振支撑为优质钢管焊接而成,整体坚固稳定。
■工作压力为0.35~0.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。
技术指标:

平面度:< 0.05mm/m2

表面粗糙度:< 0.8μm
固有频率;x方向:1.0Hz~1.5Hz  y方向:1.0Hz~1.5Hz
■减振效率:x方向<5Hz时:88%~94%    y方向<5Hz时:86%~92%
 

              

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

                 x方向<10Hz时:92%~98%  y方向<10Hz时:90%~95%

 

 

 

 

 

 

 

 

振幅:< 1μm
荷载能力:800kg/m2

重复定位精度:±0.05mm

产品型号:(接受客户任意规格定制生产)

台面细节图   

精密研磨处理


内核采用粘结蜂窝芯及隔离杯结构或焊接钢制蜂窝结构(用户可选)



装配地点:大连理工大学实验室



装配地点:南方科技大学

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